Kryssstrømstrykkregulerende ventilstrukturer er attraktive for høystrømstrykkkontrollapplikasjoner på grunn av den reduserte aktiveringskraften som kreves og det reduserte enhetens fotavtrykksareal. En knivsluseventil ble produsert som kontrollerte en strømning på 1,3 Nl/min ved et tilførselstrykk på 1,5 bar. Ventilen ble mikrofabrikert ved bruk av dyp reaktiv ionetsing (DRIE) og silisiumfusjonsbinding. Bruken av mikromaskinerte knivportventiler i trykkkontrollsystemer forbedrer ytelsen og kostnadsbesparelser kan realiseres.
Sende bookingforespørsel